Sejarah transduser tekanan

Sejauh Galileo Galilei, para ilmuwan telah mencoba mengukur tekanan. Selama hampir tiga ratus tahun ke depan, ilmuwan akan membuat penemuan yang membantu menginformasikan pemahaman mereka tentang pengukuran tekanan. Namun, tidak sampai tahun 1930, dengan penemuan pengukur regangan tidak terikat oleh Roy Carlson, seorang insinyur sipil, bahwa langkah besar dibuat dengan teknologi transduser tekanan UPC1 .

1930: Roy Carlson mendesain alat ukur regangan kawat tanpa ikatan pertama UPC7 untuk mengukur regangan di dalam struktur beton.

1938: Arthur Ruge, Institut Teknologi Massachusetts, dan Edward Simmons, Institut Teknologi California, secara mandiri tetapi secara bersamaan mengembangkan suatu proses untuk pengukur regangan kawat berikat. Kedua pria itu akhirnya mengajukan paten bersama.

1952: Alat pengukur regangan foil ditemukan oleh Peter George Scott Jackson dari Saunders-Roe Ltd. Alat pengukur regangan foil memberikan keuntungan dibandingkan alat pengukur kawat berikat, termasuk pembuangan panas yang lebih baik, stabilitas termal yang lebih baik, reproduktifitas yang lebih baik, dan biaya produksi yang lebih rendah.

1954: Transduser tekanan kapasitif dikembangkan oleh Carl Spaulding. Sensor-sensor ini menyediakan cara untuk mengukur tekanan yang sangat kecil dengan akurasi yang cukup.

1960-an: Transduser film tipis pertama dengan stabilitas yang baik dan histeresis rendah dikembangkan. Teknologi ini tetap digunakan sampai sekarang untuk mengukur tekanan tinggi. Sementara itu, silikon diafragma dan sensor silikon UPX13 paten juga dikembangkan pada akhir 1960-an oleh Art Zias dan John Egan dari Honeywell Research Center.

1973: William Polye dari Bendix Corporation mendesain transduser kapasitif menggunakan kuarsa. Ini memungkinkan untuk mengukur rentang tekanan yang lebih rendah.

1979: Robert Bell dari Kavlico membangun teknologi transduser kapasitif untuk menggantikan tubuh kuarsa dengan yang keramik. Desain ini tetap umum digunakan sampai sekarang.

Silakan hubungi Qi Huang ( qihuang@utopsensor.com ) untuk rincian lebih lanjut.